|
|
Ар06-6973
Цимбалов, А. С.
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Цимбалов. - М., 2006. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 26 (8 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|