|
|
Ар06-6285
Орлов, О. М.
Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / О. М. Орлов. - М., 2005. - 39 с : ил. - Библиогр.: с. 35-39(34 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|