|
|
АР93-2673
Васин, А. С.
Влияние всестороннего давления на образование и трансформацию дефектов в ионно-легированных полупроводниковых слоях и других структурах микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / А. С. Васин. - Ниж.Новгород, 1993. - 18 с.
В надзаг.: Нижегород.гос.ун-т им.Н.И.Лобачевского. Библиогр.: с. 17-18(12 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|