|
|
АР93-2524
Игнатьев, А. С.
Электронная Оже-спектроскопия для исследования и контроля технологии СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / А. С. Игнатьев. - М., 1993. - 45 с. : ил
В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 35-45(76назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|