|
|
Ар06-2415
Коробко, Ю. О.
Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Ю.О. Коробко. - Минск, 2005. - 22 с. - Библиогр.: с. 18-19
В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|