|
|
Ар06-1723
Борисов, В. О.
Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / В.О. Борисов. - Красноярск, 2005. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19 (15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|