|
|
АР93-0810
Журавлев, А. В.
Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Журавлев. - М., 1993. - 20 с. : ил
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 19-20(8 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|