|
|
АР93-353
Касьянов, А. А.
Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катодом и катодным распылением рабочего вещества [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / А. А. Касьянов. - М., 1993. - 19 с.
В надзаг.: Моск.инж.-физ.ин-т. Библиогр.: с. 17-19(15 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|