|
|
Ар05-3776
Суханов, Я. Н.
Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов. - М., 2005. - 19 с. - Библиогр.: с. 17-19 (15 назв.). - 100 экз.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|