|
|
Ар04-10247
Рычков, Д. С.
Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.04 / Д. С. Рычков. - Томск, 2004. - 19 с. : ил.
Библиогр.: с. 16-19
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|