Ар04-5006

    Русаков, Д. Н.
    Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Д. Н. Русаков. - М., 2003. - 18 c. : ил.
Библиогр.: с. 18 (6 назв.).

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)