|
|
Ар04-4805
Худайбергенов, Г. Ж.
Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Г. Ж. Худайбергенов. - Омск, 2003. - 24 с. : ил.
Библиогр.: с. 22-24.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|