Главная Документация WEB ИРБИС 8.1 Шлюз Z39.50

Базы данных


Электронный Каталог ГПНТБ - результаты поиска

Вид поиска

Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Общее количество найденных документов : 1
1. М/42285/22(1995)

Новиков, Ю. А.
The thickness measurement of nanometer layers of SiO2 made in the process of the thermometric oxidation of silicon [Text] / Ю. А. Новиков, A. V. Rakov, I. B. Strizhkov. - Moscow, 1995. - 12 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 22(1995)). - 100 экз. - Б. ц.
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремний, оксиды, пленки--Производство

Доп.точки доступа:
Rakov, A.V.; Strizhkov, I.B.; Novikov Yu.A.
Экз-ры: ХР(1)

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)